ICP-MS檢測(cè)半導(dǎo)體級(jí)樣品注意事項(xiàng)！

ICP-MS可適用于ppt級(jí)的元素和亞ppt級(jí)的元素分析，因此常用于半導(dǎo)體行業(yè)，分析超痕量的雜質(zhì)。如下介紹主要的影響因素。

儀器運(yùn)行環(huán)境

半導(dǎo)體設(shè)備中出現(xiàn)污染，會(huì)使產(chǎn)品性能惡化。堿金屬、堿土金屬造成的污染降低擊穿電壓，過(guò)渡金屬造成的污染縮短載流子壽命，增加暗電流。因此必須控制污染。但是，這些污染存在于大氣中各個(gè)角落，所以通過(guò)ICP-MS檢測(cè)的樣品必須特別注意不要受這些污染影響。最好的方法是在潔凈室進(jìn)行檢測(cè)。

ICP-MS在潔凈室內(nèi)使用，其前級(jí)真空泵最好放置在潔凈室外部，只將儀器主機(jī)放置在潔凈室。用于冷卻儀器的空氣從外流到內(nèi)，并從上部的排風(fēng)管排出，使灰塵粒子被控制在最小值。潔凈室的潔凈度常用空氣只微粒子來(lái)表示。1000級(jí)表示直徑＞0.5μm的粒子≤1000個(gè)/立方英尺。一般大氣中為100萬(wàn)級(jí)。為保證10～1級(jí)的潔凈度，潔凈室內(nèi)部的空氣流通盡量采用高架回風(fēng)，是室內(nèi)的空氣可以向下流通。配置樣品和標(biāo)準(zhǔn)溶液時(shí)需在100級(jí)以下的通風(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行，一般此類通風(fēng)櫥會(huì)在頂部再增加一級(jí)過(guò)濾FFU，以此來(lái)保證作業(yè)過(guò)程中的潔凈度。

樣品引入系統(tǒng)/接口

為避免污染，必須特別注意樣品引入系統(tǒng)的選擇和清潔。用于檢測(cè)半導(dǎo)體樣品的樣品引入系統(tǒng)、接口于其他樣品檢測(cè)不同，相關(guān)配置如下。

霧化器，蠕動(dòng)泵管有時(shí)會(huì)造成極微量污染，進(jìn)行超微量檢測(cè)是適用于自吸進(jìn)樣。自吸進(jìn)樣時(shí)，霧化器使用同心霧化器、交叉霧化器或微流霧化器。

接口，一般ICP-MS7700S有兩種接口（Ni、Pt），都可以用于半導(dǎo)體樣品檢測(cè)。使用Ni錐接口時(shí)，Ni的背景檢出限為50ppt左右。而Pt錐接口可以對(duì)很多酸有耐受性，適合超純酸的檢測(cè)。

某些元素具有記憶效應(yīng)，這些元素的氧化物易留在接口上，如Ca、Al、Si、U、Th和稀土元素等。這些記憶效應(yīng)可以通過(guò)在2%的硝酸中浸泡去除。但是，有時(shí)需要沾有氧化鋁懸濁液的棉簽進(jìn)行擦拭去除。

樣品引入系統(tǒng)/接口的清洗

如果長(zhǎng)時(shí)間在空氣中放置可能會(huì)有污染，所以使用前用超純水充分清洗。另外，清洗時(shí)必須戴手套。

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